◆ 24位DSP+FPGA雙處理器控制系統(tǒng),嵌入式PID自整定智能調(diào)節(jié)器,系統(tǒng)自動整定優(yōu)化參數(shù);
◆ 集成數(shù)字鎖相放大器,3路鎖相放大通道(帶寬>6MHz);
◆ 掃描模式:支持接觸模式、橫向力/摩擦力模式、輕敲模式(振幅+相位圖)、力曲線模式、抬起模式(磁力/靜電力成像),可擴(kuò)展實(shí)現(xiàn)掃描隧道顯微模式、導(dǎo)電原子力模式、力調(diào)制模式、開爾文探針力模式、壓電力模式、擴(kuò)散電阻/電容模式、納米刻蝕及壓痕模式等;
◆ 通訊接口:1 個以太網(wǎng)接口、2 個 USB 接口、2 個串行接口、3 路步進(jìn)電機(jī)接口、 8 個通用 I/O 口,其中以太網(wǎng)口用于和上位機(jī)通訊,其余接口用于和其他第三方控制器通訊或脈沖觸發(fā)/驅(qū)動;
◆ 模數(shù)轉(zhuǎn)換(ADC)通道:14 路(含 4 路 16bit 40MHz 高速 AD,6 路 18bit 1MHz 中速 AD,4 路 24bit 128kHz 低速 AD),用于 AFM 測頭光電探測器信號、針尖/樣品導(dǎo)電信號、閉環(huán)掃描器位移傳感器信號及其他模擬信號讀取,輸入范圍±10V;
◆ 數(shù)模轉(zhuǎn)換(DAC)通道:10 路(含 4 路 16bit 50MHz 高速 DA,4 路 18bit 1MHz 中速 DA,2 路 20bit 1MHz 中速 DA),用于探針振動激勵、探針/樣品加電、掃描器驅(qū)動及其他模擬信號輸出,輸出范圍±10V。
◆ 圖像采樣點(diǎn):128×128~4096×4096;
◆ 掃描速度0.1Hz~100Hz,掃描角度0~360°;
◆ 控制器電子噪聲水平:Z 向噪聲優(yōu)于 80fm/√Hz;
◆ 上位機(jī)軟件功能:電機(jī)控制、CCD 視頻顯示、激光器控制、光電探測器信號監(jiān)控、掃描器位置監(jiān)控、共振峰搜索、驅(qū)動頻率/振幅設(shè)置、掃描參數(shù)(模式/范圍/偏置/速度/角度/方向/像素/增益/setpoint/力曲線行程/抬高度等)設(shè)置、數(shù)字濾波參數(shù)設(shè)置、圖像實(shí)時(shí)顯示、
數(shù)據(jù)存儲等;
◆ 強(qiáng)大的軟硬件擴(kuò)展功能接口,可用于及支持客戶二次功能開發(fā)定制。