◆ 國(guó)內(nèi)首家實(shí)現(xiàn)探針和樣品組合式移動(dòng)掃描的商業(yè)化原子力顯微鏡；

◆ 國(guó)內(nèi)首家采用三軸獨(dú)立閉環(huán)壓電平移式掃描臺(tái)，實(shí)現(xiàn)大范圍高精度掃描；

◆ 三軸獨(dú)立式掃描，XYZ互不影響，非常適合三維材料及形貌檢測(cè)；

◆ 電動(dòng)控制樣品移動(dòng)臺(tái)和升降臺(tái)，可任意編程多點(diǎn)位置實(shí)現(xiàn)快速自動(dòng)化檢測(cè)；

◆ 龍門(mén)架式掃描頭設(shè)計(jì)，大理石底座，真空吸附和磁性吸附式載物臺(tái)；
◆ 馬達(dá)自動(dòng)控制加壓電陶瓷自動(dòng)探測(cè)的智能進(jìn)針?lè)绞?，保護(hù)探針及樣品；
◆ 高倍輔助光學(xué)顯微定位，實(shí)時(shí)觀測(cè)與定位探針以及樣品掃描區(qū)域；

◆ 閉環(huán)壓電掃描臺(tái)無(wú)需非線性校正，納米表征和測(cè)量精度優(yōu)于99.5%。

技術(shù)參數(shù)



應(yīng)用案例