客戶單位：中國(guó)航空304所

應(yīng)用需求：原子力顯微鏡測(cè)頭與光學(xué)干涉儀系統(tǒng)及多軸壓電控制納米位移臺(tái)聯(lián)用，開發(fā)高精度的計(jì)量型納米測(cè)量工具

功能特點(diǎn)：

1、納米針尖接觸式測(cè)量，XY軸采用壓電平板驅(qū)動(dòng)樣品掃描，Z軸采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)針尖掃描

2、三軸獨(dú)立式掃描，XYZ互不影響，不會(huì)相互串?dāng)_

核心參數(shù)：

1、Z軸測(cè)量掃描范圍：≥10 um

2、Z軸噪音水平：RMS≤30 pm

3、反饋采樣速率：64KHz

4、探針諧振頻率范圍：3kHz~2MHz

5、探針力常數(shù)范圍：0.06N/m~600N/m

6、輔助光學(xué)放大倍數(shù)：5X

7、照明方式：同軸照明

部分測(cè)試圖片：