樣品名稱：一維光柵 

測(cè)試要求： 光柵形貌及高度測(cè)試

1. 樣品位置中左，掃描范圍 3*3um

光柵深度=540.4nm

2、樣品位置左下，掃描范圍 3*3um

光柵深度=572.6nm

3. 樣品位置左上，掃描范圍 3*3um

光柵深度=528.8nm

4. 樣品名稱 XRS-6600，掃描范圍 2.5*2.5um

光柵深度=256.3nm，光柵周期=474nm