對于精確的定量測量，蝕刻或預(yù)處理的表面深度應(yīng)盡量減小，應(yīng)遠(yuǎn)低于平均粒徑。原子力顯微鏡在試樣表面垂直方向的分辨率是相當(dāng)高的。圖1顯示的是一個經(jīng)化學(xué)蝕刻的高溫合金CMSX-6試樣的三維形貌圖像。較低的（綠色）部分為對應(yīng)于γ相，這種相使合金擁有出色的耐高溫性能。對于此合金優(yōu)良的耐高溫性能，γ相的體積分?jǐn)?shù)以及含水率就顯得影響較大。定量說明這些參數(shù)見圖2。低蝕刻深度（14nm）的γ相通過線掃描說明。該部分缺陷可以在直方圖的圖像數(shù)據(jù)中表征。兩個極大值揭示了微觀γ相和晶相結(jié)構(gòu)。

圖1 超耐熱合金 CMSX-6 的微觀結(jié)構(gòu)，綠色部分對應(yīng)于 γ相，掃描范圍為 4μm

圖2通過原子力顯微鏡得到的 12μm范圍的超耐熱合金 CMSX-6 的微觀結(jié)構(gòu)圖。制高點(diǎn)（左）可以用作定量說明。CMSX-6中兩相高度相差14nm（底部）通過線掃描說明。γ相所占的體積分?jǐn)?shù)可以從直方圖中得出。

在其它合金中，球形粒子（而非立方）通過熱處理而析出。比如，沃斯帕洛伊合金展示了析出物的雙眾數(shù)粒度分布。此時，對于大多數(shù)顯微技術(shù)以及透射電子顯微鏡（TEM），都對較少析出的γ相的體積分?jǐn)?shù)的可靠性定量說明顯得比較困難，因?yàn)闇y定改變的薄膜厚度是一項(xiàng)費(fèi)時的任務(wù)。然而原子力顯微鏡AFM則克服了這些困難。

蘇州飛時曼精密儀器有限公司成立于2013年，在2015年，公司獲得江蘇省高新技術(shù)企業(yè)認(rèn)證，擁有自主知識產(chǎn)權(quán)30多項(xiàng)，研發(fā)的多款產(chǎn)品被評為高新技術(shù)產(chǎn)品，并通過CE、ISO9001、SGS認(rèn)證。公司的核心研究方向?yàn)楣狻C(jī)、電、算一體化的微納米檢測設(shè)備、先進(jìn)的醫(yī)療儀器。飛時曼作為國內(nèi)自主品牌、蘇州飛時曼精密儀器有限公司，其主要產(chǎn)品有：原子力顯微鏡系列（多模式原子力顯微鏡 FM-Nanoview1000AFM、一體式原子力顯微鏡 FM-Nanoview6800AFM、拉曼原子力顯微鏡一體機(jī) FM-NanoviewRa-AFM、光學(xué)原子力顯微鏡一體機(jī) FM-NanoviewOp-AFM、教學(xué)型原子力顯微鏡 FM-Nanoview T-AFM、教學(xué)型掃描隧道顯微鏡 FM-NanoviewT-STM、工業(yè)型原子力顯微鏡 FM-NanoviewLS-AFM、拉曼光譜儀RM5000、拉曼光譜儀RM8000、拉曼光譜儀RM9000）。公司自主研發(fā)的原子力顯微鏡基本都具備輕敲模式，且作為國內(nèi)自主研發(fā)生產(chǎn)的原子力顯微鏡廠家，只是選配與訂做。